5月18日，河北晶馳機(jī)電有限公司（以下簡稱“晶馳機(jī)電”）在河北省舉行了首臺(tái)（套）12寸電阻法高純碳化硅晶體生長爐的交付儀式。據(jù)正定發(fā)布消息，這款設(shè)備采用電阻式物理氣相傳輸（PVT）方法，通過創(chuàng)新的結(jié)構(gòu)與熱場設(shè)計(jì)，結(jié)合先進(jìn)的過程控制理論和自動(dòng)化技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了徑向溫度的均勻分布和軸向溫度梯度的精準(zhǔn)調(diào)控。其智能化運(yùn)行能力顯著，可實(shí)現(xiàn)8英寸和12英寸碳化硅單晶的“一鍵切換”生產(chǎn)，極大提升了設(shè)備的靈活性和生產(chǎn)效率。
晶馳機(jī)電成立于2021年7月，總部和研發(fā)中心位于杭州市浙江大學(xué)杭州國際科創(chuàng)中心，專注于第三代和第四代半導(dǎo)體材料裝備的研發(fā)與生產(chǎn)。2024年年末，公司在河北石家莊建成了一座半導(dǎo)體材料研發(fā)生產(chǎn)基地，并于11月初正式投產(chǎn)。該項(xiàng)目總投資2億元，占地約50.26畝，總建筑面積約20000平方米，分兩期建設(shè)，主要聚焦金剛石設(shè)備與碳化硅外延設(shè)備的研發(fā)與生產(chǎn)。
據(jù)晶馳機(jī)電透露，此次交付的12英寸碳化硅晶體生長爐在性能上表現(xiàn)優(yōu)異。相比傳統(tǒng)6英寸和8英寸襯底，12英寸碳化硅襯底材料顯著提升了單片晶圓的可用面積，不僅提高了芯片產(chǎn)量，還大幅降低了單位芯片制造成本。此外，該設(shè)備生產(chǎn)的晶錠形態(tài)優(yōu)良，表面微凸度控制在2.4毫米以內(nèi)，工藝穩(wěn)定性高，操作便捷，適合產(chǎn)業(yè)化推廣。
圖源：正定發(fā)布
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