快科技12月25日消息,據(jù)媒體報(bào)道,佳能高管在接受采訪時(shí)表示,納米壓印技術(shù)甚至可以生產(chǎn)電路線寬為2納米的產(chǎn)品,并且該業(yè)務(wù)在全球只有佳能才有。
佳能半導(dǎo)體機(jī)器業(yè)務(wù)部長(zhǎng)巖本和德稱(chēng),納米壓印就是把刻有半導(dǎo)體電路圖的掩膜壓印到晶圓上,壓印1次就可以形成電路,如果改進(jìn)掩膜,甚至可以生產(chǎn)電路線寬為2納米的產(chǎn)品。
客戶(hù)的實(shí)際成本可以降至傳統(tǒng)光刻設(shè)備的一半,而且由于納米壓印設(shè)備的規(guī)模減小,在研發(fā)等用途上也更方便引進(jìn)。
當(dāng)被問(wèn)及納米壓印光刻設(shè)備是否有其他競(jìng)爭(zhēng)公司時(shí),巖本和德表示,面向半導(dǎo)體光刻,開(kāi)展納米壓印設(shè)備業(yè)務(wù)的在全世界只有我們公司,準(zhǔn)入門(mén)檻很高。
從2017年左右開(kāi)始,佳能就與鎧俠和大日本印刷3家持續(xù)進(jìn)行合作開(kāi)發(fā),“目前量產(chǎn)用途的實(shí)用化已有眉目,我認(rèn)為可以面向客戶(hù)銷(xiāo)售。”
同時(shí)其還表示佳能已收到了半導(dǎo)體廠商、大學(xué)、研究所的很多咨詢(xún),“由于引進(jìn)EUV光刻設(shè)備需要龐大成本,作為替代措施的納米壓印備就備受期待。”
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