在杭州城西科創(chuàng)大走廊的核心區(qū)域，浙江大學(xué)成果轉(zhuǎn)化基地迎來了一個(gè)振奮人心的消息：全國首臺國產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機(jī)“羲之”已成功進(jìn)入應(yīng)用測試階段。作為基地首批簽約孵化的項(xiàng)目，“羲之”的亮相標(biāo)志著中國在量子芯片研發(fā)領(lǐng)域擁有了自主研發(fā)的“刻刀”。1E028資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

在浙大余杭量子研究院的測試現(xiàn)場，一臺外觀類似大型鋼柜的設(shè)備正在進(jìn)行緊張的應(yīng)用測試。電子顯示屏上，實(shí)時(shí)參數(shù)不斷跳動(dòng)，顯示著設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)。團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人形象地比喻這臺設(shè)備為“納米神筆”，能夠在微小的芯片上“雕刻”出復(fù)雜的電路。1E028資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

據(jù)研發(fā)團(tuán)隊(duì)介紹，“羲之”之所以得名于書法家王羲之，是因?yàn)樗瑯右浴肮P”為工具，只不過這里的“筆”是高能電子束。這臺新一代100kV電子束光刻機(jī)通過電子束在硅基上“手寫”電路，精度高達(dá)0.6納米，線寬為8納米。其獨(dú)特之處在于能夠靈活修改設(shè)計(jì)，無需掩膜版，非常適合芯片研發(fā)初期的反復(fù)調(diào)試。1E028資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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此前，由于國際出口管制，此類高端設(shè)備一直難以進(jìn)入中國市場，導(dǎo)致中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)、之江實(shí)驗(yàn)室等國內(nèi)頂尖科研機(jī)構(gòu)長期面臨采購難題。“羲之”的落地不僅打破了這一困局，還以低于國際均價(jià)的價(jià)格，吸引了多家企業(yè)和科研機(jī)構(gòu)的關(guān)注。1E028資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

“羲之”的成功并非偶然，它背后是科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新深度融合的結(jié)果。今年7月，省級教育科技人才一體改革專項(xiàng)試點(diǎn)項(xiàng)目在余杭區(qū)的浙江大學(xué)校友企業(yè)總部經(jīng)濟(jì)園落地。浙江大學(xué)與該園攜手搭建了成果轉(zhuǎn)化平臺，實(shí)現(xiàn)了從實(shí)驗(yàn)室樣品到量產(chǎn)產(chǎn)品的全流程陪跑。1E028資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

在城西科創(chuàng)大走廊，這樣的創(chuàng)新融合已成為常態(tài)。院士工作站入駐城投未來之星辦公樓，無縫對接企業(yè)需求；優(yōu)秀概念驗(yàn)證項(xiàng)目征集活動(dòng)連年舉辦，打通了成果轉(zhuǎn)化的“最后一公里”。未來，城西科創(chuàng)大走廊將持續(xù)推動(dòng)“兩新融合”，為硬科技突破提供加速動(dòng)力，推動(dòng)科技成果更快轉(zhuǎn)化為現(xiàn)實(shí)生產(chǎn)力。1E028資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

電子束光刻機(jī)作為尖端科研與特定工業(yè)環(huán)節(jié)的“刻刀”，雖然目前主要應(yīng)用于科研領(lǐng)域和光掩模制造，但其高精度和靈活性使其在芯片研發(fā)初期具有不可替代的作用。盡管面臨效率瓶頸，但隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，未來有望在多束控制或混合光刻架構(gòu)上取得突破，進(jìn)一步擴(kuò)展應(yīng)用場景。1E028資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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