日韩成人免费在线_国产成人一二_精品国产免费人成电影在线观..._日本一区二区三区久久久久久久久不

當前位置:首頁 > 科技  > 芯片

國產光刻機挑戰:突破核心技術差距待解

來源: 責編: 時間:2023-11-28 09:32:38 278觀看
導讀在國內芯片產業中,光刻機技術一直是制約發展的關鍵。在沒有ASML提供浸潤式光刻機和EUV光刻機的情況下,國產光刻機難以在7nm以下取得突破。近年來,國內頻繁傳出光刻機突破的消息,但關鍵問題在于核心部件的國產化進展如何?光

在國內芯片產業中,光刻機技術一直是制約發展的關鍵。在沒有ASML提供浸潤式光刻機和EUV光刻機的情況下,國產光刻機難以在7nm以下取得突破。EpT28資訊網——每日最新資訊28at.com


EpT28資訊網——每日最新資訊28at.com

近年來,國內頻繁傳出光刻機突破的消息,但關鍵問題在于核心部件的國產化進展如何?EpT28資訊網——每日最新資訊28at.com


EpT28資訊網——每日最新資訊28at.com

光刻技術是在特定波長的光照下,借助光刻膠將圖形轉移到基片上的工藝。核心部件包括光源系統、物鏡系統和雙工作臺。EpT28資訊網——每日最新資訊28at.com


EpT28資訊網——每日最新資訊28at.com

光源系統使用193nm波長的深紫外線,目前上海微電子的90nm光刻機也采用了193nm波長,支持最高達到7nm。EpT28資訊網——每日最新資訊28at.com


EpT28資訊網——每日最新資訊28at.com

物鏡系統是真正的難點,ASML使用的是由卡爾蔡司提供的,目前國產光刻機的物鏡系統尚處于90nm水平,但據稱長春光電所的物鏡系統已經達到32nm,尚待確認是否已應用于光刻機。EpT28資訊網——每日最新資訊28at.com


EpT28資訊網——每日最新資訊28at.com

在物鏡系統方面,國內與ASML仍存在較大差距,可能是限制國產光刻機突破的重要因素之一。克服這一挑戰,將是國產光刻機向前邁進的重要一步。EpT28資訊網——每日最新資訊28at.com

本文鏈接:http://www.www897cc.com/showinfo-27-34387-0.html國產光刻機挑戰:突破核心技術差距待解

聲明:本網頁內容旨在傳播知識,若有侵權等問題請及時與本網聯系,我們將在第一時間刪除處理。郵件:2376512515@qq.com

上一篇: 三星公布2024年管理層變動:維持雙CEO制度

下一篇: 上海睿賽德與先楫半導舉辦RISC-V技術研討會

標簽:
  • 熱門焦點
Top 主站蜘蛛池模板: 当雄县| 义马市| 遵义县| 白银市| 岗巴县| 沽源县| 阿合奇县| 抚顺市| 德昌县| 延边| 安义县| 正安县| 会泽县| 博客| 岐山县| 庆城县| 江川县| 九龙县| 界首市| 凉城县| 若尔盖县| 洞头县| 新宾| 大冶市| 方山县| 朝阳市| 高安市| 武夷山市| 疏附县| 昌吉市| 池州市| 洛浦县| 通州区| 汤阴县| 含山县| 安西县| 平山县| 阜新市| 莆田市| 若尔盖县| 新巴尔虎右旗|