5月16日，凱世通在上海浦東新區(qū)舉辦了一場慶典活動，慶祝其國產(chǎn)低能大束流離子注入機在12英寸晶圓產(chǎn)品片上的過貨量突破500萬片。
離子注入機作為芯片制造的三大核心裝備之一，技術門檻極高，僅次于光刻機。其中，低能大束流離子注入機不僅市場規(guī)模最大，還面臨極高的產(chǎn)業(yè)化難度。據(jù)公開資料顯示，自2020年交付首臺設備以來，凱世通始終堅持自主研發(fā)和原創(chuàng)設計，攻克了多項技術難題，實現(xiàn)了關鍵部件的國產(chǎn)化。公司不僅覆蓋了28納米工藝的全面應用，還成功支撐了國內(nèi)10余家主流12英寸集成電路產(chǎn)線的安全量產(chǎn)，涉及先進邏輯、先進存儲、CIS圖像傳感器以及功率芯片四大核心領域。
活動現(xiàn)場，客戶代表向凱世通授予了“凱世通速度”書法作品，以表彰其在技術研發(fā)和量產(chǎn)方面的卓越表現(xiàn)。凱世通以“每月等效2個月”的研發(fā)效率，不斷刷新低能大束流離子注入機在產(chǎn)線安全量產(chǎn)上的新高度，探索國產(chǎn)化應用的無人區(qū)。

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