據韓媒Theelec援引業界消息,三星電子正評估將低規格光罩(i-line、KrF級)外包生產的可能性。過去,為防止技術外泄,三星一直自行生產光罩。然而,由于設備老化及技術優勢的變化,三星計劃將部分低規格光罩交由外部廠商制造。
目前,三星正在與兩家公司進行洽談,分別是日本Toppan Holdings子公司Tekscend Photomask和美國Photronics子公司PKL,預計評估工作將在2025年第3季完成。
光罩是半導體制造中不可或缺的核心組件,用于將電路圖案轉印至晶圓上。根據光源波長不同,光罩分為多種類型:i-line(365納米)適用于簡單電路,KrF(248納米)用于中端制程,而ArF(193納米)和極紫外光(EUV,13.5納米)則應用于先進制程。
三星此次外包低規格光罩的決定,主要是因為相關生產設備已老化且難以采購新設備。此外,三星認為低規格光罩外包不會對技術外泄構成重大風險,同時可將內部資源集中于更高端的ArF和EUV光罩生產,以提升技術競爭力。
隨著半導體制程日益微細化,光罩需求持續增長。例如,邏輯IC從10納米縮小至1.75納米時,所需光罩數量從67片增至78片;而DRAM光罩使用量也從30~40片增至60片以上。韓國光罩市場規模預計在2024年達到7,500億至8,000億韓元,產線稼動率已超90%,接近飽和。
分析指出,若三星最終落實光罩外包計劃,可能打亂韓國8寸晶圓廠及IC設計業者的采購安排,導致光罩供應緊張的局面進一步加劇。
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