泛林集團近日發布了其最新創新——ALTUS Halo,這一工具將鉬金屬化技術引入半導體生產,成為全球首款基于金屬鉬進行尖端半導體制造的工具。這一技術的推出,標志著半導體金屬化領域的新紀元,尤其在支持下一代芯片和人工智能、云計算應用的過程中具有革命性意義。
ALTUS Halo作為ALTUS系列的最新成員,已開始與全球頂級芯片制造商進行認證和測試。這一工具通過創新的原子層沉積技術,實現了超高精度的低電阻率鉬沉積,并且在先進存儲器和邏輯芯片的制造中,將成為核心技術。隨著對更高性能半導體的需求日益增加,ALTUS Halo將為未來的高端NAND、DRAM和邏輯器件提供強大支持。
相比傳統的鎢基金屬化技術,鉬在半導體制造中的應用具有顯著優勢。鉬不僅電阻率較低,有助于提高芯片速度,還能簡化工藝,減少電氣相互作用帶來的風險,解決了在復雜3D架構下信號傳輸中可能出現的瓶頸問題。因此,ALTUS Halo的推出對于半導體行業來說是一個重要的技術突破,尤其在大規模生產應用中具有巨大的潛力。
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