之家push系統迭代之路
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快科技12月10日消息，尼康宣布，將于2024年1月正式推出ArF 193納米浸沒式光刻機“NSR-S636E”，生產效率、套刻精度都會有進一步提升。
據悉，尼康這款曝光機采用增強型iAS設計，可用于高精度測量、圓翹曲和畸變校正，重疊精度(MMO)更高，號稱不超過2.1納米。
分辨率小于38納米，鏡頭孔徑1.35，曝光面積為26x33毫米。
對比當前型號，它的整體生產效率可提高10-15％，創下尼康光刻設備的新高，每小時可生產280片晶圓，停機時間也更短。
尼康還表示，在不犧牲生產效率的前提下，新光刻機可在需要高重疊精度的半導體制造中提供更高的性能，尤其是先進邏輯和內存、CMOS圖像傳感器、3D閃存等3D半導體制造，堪稱佳解決方案。
另據了解，新光刻機的光源技術是20世紀90年代就已經成熟的“i-line”，再加上相關零件、技術的成熟化，價格將比競品便宜20-30％左右。
不過，目前尚不清楚尼康這款光刻機能制造多少納米的芯片。
日本尼康、佳能與荷蘭阿斯麥(ASML)曾經是光刻機三巨頭，但因為點錯了科技樹，沒有跟上阿斯麥的193納米浸沒式光刻技術，逐漸沒落，尤其是在EUV極紫外光刻技術上毫無建樹。
為了生存，尼康、佳能基本放棄了對尖端光刻技術的角逐，更專注于難度更低、價格更低的成熟工藝光刻設備。
但他們也并非一無是處，比如佳能研發了納米壓印技術(NIL)，無需EUV就能制造5納米芯片。
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