11月6日消息，據(jù)彭博社報(bào)道，佳能公司正計(jì)劃將其新的基于“納米壓印”技術(shù)的芯片制造設(shè)1316世界之最備的價(jià)格定為ASML的EUV光刻機(jī)的1/10。
由于該設(shè)備可以用于制造5nm尖端制程芯片，且不是基于光學(xué)技術(shù)，或?qū)⒊蔀橹袊?guó)繞過(guò)美國(guó)限制來(lái)制造尖端制程芯片的可行方案。
但是，佳能首席執(zhí)行官三井藤夫在采訪中表示，該設(shè)備無(wú)法出口到中國(guó)。
尖端制程嚴(yán)重依賴(lài)EUV光刻機(jī)
總部位于荷蘭的ASML是目前全球最大的光刻機(jī)廠商，同時(shí)也是全球唯一的極紫外光刻設(shè)備供應(yīng)商。EAnDZkUV光刻機(jī)是目前世界上最先進(jìn)的芯片制造設(shè)備，每臺(tái)成本高達(dá)數(shù)億美元。
雖然目前在光刻機(jī)市場(chǎng)，還有尼康和佳能這兩大供應(yīng)商，但是這兩家廠商的產(chǎn)品主要都是被用于成熟制程芯片的制造，全球市場(chǎng)份額僅有10%左右，ASML一家占據(jù)了90%的市場(chǎng)份額，并壟斷了尖端的EUV光刻機(jī)的供應(yīng)。
目前7nm以下的先進(jìn)制程芯片的大規(guī)模生產(chǎn)主要都是依賴(lài)于ASML的EUV光刻機(jī)，但只有少數(shù)現(xiàn)金充裕的公司才有能力投資購(gòu)買(mǎi)這些EUV光刻機(jī)。
即便如此，EUV光刻機(jī)仍因?yàn)槠湓诩舛诵酒圃旃?yīng)鏈中的關(guān)鍵地位而一直受到出口管制審查。
多年前，美國(guó)就有向其盟友——荷蘭施壓，要求其限制EUV設(shè)備出口到中國(guó)。今年6月30日，荷蘭政府正式出臺(tái)了新的半導(dǎo)體出口管制措施，ASML被禁止向中國(guó)客戶(hù)出口EUV系統(tǒng)以及先進(jìn)的浸沒(méi)式DUV系統(tǒng)。
這也意味著中國(guó)想要突破到5nm，甚至更尖端的制程工藝將會(huì)面臨極大的困難。
繞過(guò)EUV，佳能納米壓印技術(shù)可量產(chǎn)5nm
今年10月中旬，佳能公司宣布開(kāi)始銷(xiāo)售基于“納米壓印”（Nanoprinted lithography，NIL）技術(shù)的芯片生產(chǎn)設(shè)備 FPA-1200NZ2C。佳能表示，該設(shè)備采用不同于復(fù)雜的傳統(tǒng)光刻技術(shù)的方案，可以制造5nm芯片。
此前佳能一直專(zhuān)注于制造不太先進(jìn)光刻機(jī)產(chǎn)品。直到2014年，佳能收購(gòu)了Molecular Imprints股份有限公司，開(kāi)始押注納米壓印技術(shù)。
近十年來(lái)，佳能一直在與日本光罩等半導(dǎo)體零組件制造商大日本印刷株式會(huì)社（DNP）和存儲(chǔ)器芯片制造商鎧俠（Kioxia）合作研發(fā)納米壓印工藝。該技術(shù)可以不使用EUV光刻機(jī)，就能使制程技術(shù)推進(jìn)到5nm。
佳能表示，這套生產(chǎn)設(shè)備的工作原理和行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者 ASML 的光刻機(jī)不同，其并不利用光學(xué)圖像投影的原理將集成電路的微觀結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到硅晶圓上，而是更類(lèi)似于印刷技術(shù)，直接通過(guò)壓印形成圖案。
相較于目前已商用化的EUV光刻技術(shù)，盡管納米壓印技術(shù)的芯片制造速度要比傳統(tǒng)光刻方式慢，但鎧俠在2021年就曾表示，納米壓印技術(shù)可大幅減少耗能，并降低設(shè)備成本。
原因在于納米壓印技術(shù)的制程較為簡(jiǎn)單，耗電量可壓低至EUV 技術(shù)的10%，并讓設(shè)備投資降低至僅有EUV設(shè)備的40%。
佳能首席執(zhí)行官三井藤夫在最新的采訪中表示，這項(xiàng)新的納米壓印技術(shù)將為小型半導(dǎo)體制造商生產(chǎn)先進(jìn)芯片開(kāi)辟一條道路。
“價(jià)格將比ASML的EUV光刻機(jī)低一位數(shù)（即僅有10%）”這位88歲的老人上一次退出日常運(yùn)營(yíng)是在2016年，現(xiàn)在是他第三次擔(dān)任佳能公司總裁。他補(bǔ)充說(shuō)，佳能尚未做出最終定價(jià)決定。
另外，納米壓印設(shè)備還可以使得芯片制造商降低對(duì)于ASML的EUV光刻機(jī)的依賴(lài)，使得臺(tái)積電、三星等晶圓代工廠可以有第二個(gè)路線選擇，可以更靈活的為客戶(hù)生產(chǎn)小批量芯片。
甚至，芯片設(shè)計(jì)廠商可以不依賴(lài)于晶圓代工廠來(lái)自己生產(chǎn)小批量的芯片。
因?yàn)镹AND閃存的圖形更為簡(jiǎn)單，因?yàn)槠洳扇∈嵌鄬訋缀跸嗤膶拥亩询B，所以更容易適應(yīng)基于納米壓印的技術(shù)制程。
鎧俠數(shù)年前就表示，已解決納米壓印的基本技術(shù)問(wèn)題，正在進(jìn)行量產(chǎn)技術(shù)的推進(jìn)工作，希望能較其他競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手率先引入到NAND 生產(chǎn)當(dāng)中。
但隨后的消息顯示，鎧俠在對(duì)納米壓印技術(shù)進(jìn)行測(cè)試之后，遭到了潛在客戶(hù)提出的投訴，認(rèn)為產(chǎn)品缺陷率較高，最后并未實(shí)際應(yīng)用。
另外，相對(duì)于更為復(fù)雜的，邏輯芯片來(lái)說(shuō)，應(yīng)用納米壓印技術(shù)的來(lái)制造還是面臨著很多的挑戰(zhàn)。
不過(guò)，佳能在推動(dòng)納米技術(shù)量產(chǎn)NAND的同時(shí)，也致力于將納米壓印量產(chǎn)技術(shù)廣泛的應(yīng)用于制造DRAM 及PC 用的CPU 等邏輯芯片的設(shè)備上，以在未來(lái)供應(yīng)多的半導(dǎo)體制造商，也希望能應(yīng)用于手機(jī)應(yīng)用處理器等最先進(jìn)制程上。
據(jù)了解，佳能目前正在日本東京北部的宇都宮建造20年來(lái)第一家新的光刻設(shè)備工廠，將于2025年上線。
佳能最新發(fā)布的這套納米壓印設(shè)備可以應(yīng)用于最小14平方毫米的硅晶圓，從而可以生產(chǎn)相當(dāng)于5nm工藝的芯片。佳能表示會(huì)繼續(xù)改進(jìn)和發(fā)展這套系統(tǒng)，未來(lái)有望用于生產(chǎn) 2nm 芯片。
對(duì)于納米壓印技術(shù)市場(chǎng)前景，三井藤夫說(shuō)：“我不認(rèn)為納米壓印技術(shù)會(huì)超過(guò)EUV，但我相信這將創(chuàng)造新的機(jī)會(huì)和需求。我們已經(jīng)接到了很多客戶(hù)的咨詢(xún)。”
納米壓印設(shè)備無(wú)法出口到中國(guó)
受美國(guó)及荷蘭出臺(tái)對(duì)于先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備的出口管制影響，國(guó)內(nèi)業(yè)界對(duì)于佳能最新推出基于納米壓印技術(shù)的芯片制造設(shè)備可以繞過(guò)EUV生產(chǎn)5nm充滿(mǎn)了興趣，認(rèn)為這可能會(huì)是一條能夠繞1316世界之最過(guò)美國(guó)限制制造更先進(jìn)制程芯片的路徑。AnDZk
雖然在今年7月日本實(shí)施了新的半導(dǎo)體出口管制措施，限制了可以被用于先進(jìn)制程的浸沒(méi)式光刻機(jī)的出口，其中似乎并未新增對(duì)于限制基于納米壓印技術(shù)的光刻機(jī)的出口。
但是事實(shí)上，芯智訊查閱日本的出口管制清單，當(dāng)中就有限制“可實(shí)現(xiàn)45nm以下線寬的壓印光刻裝置”。
佳能CEO三井藤夫也在最新的采訪中表示，佳能可能無(wú)法將這些（基于納米壓印技術(shù)的）芯片制造設(shè)備出口到中國(guó)。“我的理解是，任何超過(guò)14nm技術(shù)的出口都是被禁止的，所以我認(rèn)為我們無(wú)法銷(xiāo)售。”
日本經(jīng)濟(jì)省的一名官員表示，他無(wú)法評(píng)論出口限制將如何影響特定的公司或產(chǎn)品。
本文鏈接：http://www.www897cc.com/showinfo-28-2558-0.html可繞過(guò)EUV量產(chǎn)5nm！佳能CEO：納米壓印設(shè)備無(wú)法賣(mài)到中國(guó)你都知道哪些？
聲明：本網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容旨在傳播知識(shí)，若有侵權(quán)等問(wèn)題請(qǐng)及時(shí)與本網(wǎng)聯(lián)系，我們將在第一時(shí)間刪除處理。郵件：2376512515@qq.com
上一篇： 為科學(xué)獻(xiàn)身！他喝下幽門(mén)螺桿菌培育湯：只為進(jìn)行深入研究是真的還是假的？
Copyright ? 2016-2023 天津谷騏科技有限公司 版權(quán)所有 sitemap.xml
違法及侵權(quán)請(qǐng)聯(lián)系：2376512515@qq.com 津ICP備18001702號(hào)
津公網(wǎng)安備 12010102000574號(hào)
