日韩成人免费在线_国产成人一二_精品国产免费人成电影在线观..._日本一区二区三区久久久久久久久不

當(dāng)前位置:首頁 > 科技  > 芯片

日本開發(fā)這項(xiàng)新技術(shù),可將SiC晶圓制造成本降低30%

來源: 責(zé)編: 時(shí)間:2023-09-08 17:40:52 316觀看
導(dǎo)讀由于SiC硬度大和易脆裂等特性,晶錠切割成為制約SiC器件制造核心瓶頸。近期,日本Dry Chemicals開發(fā)了一種新的工藝,能夠?qū)iC晶圓的制造成本降低20~30%。 該技術(shù)的核心是在晶錠上進(jìn)行開槽,這樣可以使得晶圓切片的時(shí)候更加

由于SiC硬度大和易脆裂等特性,晶錠切割成為制約SiC器件制造核心瓶頸。近期,日本Dry Chemicals開發(fā)了一種新的工藝,能夠?qū)iC晶圓的制造成本降低20~30%。LJE28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com


該技術(shù)的核心是在晶錠上進(jìn)行開槽,這樣可以使得晶圓切片的時(shí)候更加平整,從而減少晶圓表面的研磨、拋光等后處理所需的步驟數(shù)量。目前,該公司將于10月份開始晶圓代加工,并且對(duì)外銷售該設(shè)備,預(yù)計(jì)第一年銷售5~10臺(tái)。LJE28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com


該技術(shù)的步驟主要是在切割前,先用磨石在晶錠要切割的位置開出一個(gè)圓周凹槽,這些凹槽可以充當(dāng)線鋸的導(dǎo)向裝置,從而可以更精確地切割晶片。LJE28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com


由于SiC晶體特別堅(jiān)硬,在切割的時(shí)候會(huì)發(fā)生漂移,如果有凹槽,磨粒可以有效地滲透,從而很難發(fā)生漂移,這種方法能夠?qū)⒕A表面的損傷控制在最小限度。對(duì)于厚度為15mm的晶錠、可以切割20個(gè)凹槽,目前該工藝所能切割的最大晶錠厚度為40mm,可以切割75片晶圓。LJE28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com


一般情況下,對(duì)晶錠切割后需要對(duì)晶圓的端面進(jìn)行加工刮平,但基于這項(xiàng)工藝的晶錠切割,會(huì)直接形成刮平,進(jìn)一步提高了效率。只需要在切割后立即進(jìn)行鏡面研磨、化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)、清潔和檢查即可獲得成品。LJE28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com



圖片來源:拍信網(wǎng)正版圖庫LJE28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com


SiC切割LJE28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com


為了提高良率,近年來不少企業(yè)都采用更為先進(jìn)的激光切割和冷分離技術(shù)。LJE28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com


其中英飛凌通過收購一家名為SILTECTRA的科技公司,掌握了SiC的冷切割技術(shù),該切割技術(shù)主要分為2個(gè)技術(shù)環(huán)節(jié)。首先是用激光照射晶錠剝落層,使SiC材料內(nèi)部體積膨脹,從而產(chǎn)生拉伸盈利,形成一層非常窄的微裂紋。第二步則是通過聚合物冷卻步驟將微裂紋處理為一個(gè)主裂紋,最終將晶圓與剩余晶錠分來。該技術(shù)能夠?qū)⒉牧蠐p失降到最低,并且讓單個(gè)晶錠可出產(chǎn)的芯片數(shù)量翻番。LJE28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com


在激光切割SiC這一領(lǐng)域,國(guó)內(nèi)也有企業(yè)正在探索。今年5月,德龍激光表示其已經(jīng)布局SiC晶錠切割,已經(jīng)將6英寸的加工時(shí)間縮短至15分鐘以內(nèi),且分片后研磨損耗小于 50 微米,在總體時(shí)間上,德龍激光的一錠切出來30片晶圓,大概需要4~5個(gè)小時(shí),相對(duì)于傳統(tǒng)的金剛線則只能切出22、23片晶圓來說,激光切割效率提升了40%左右,目前德龍激光的最大可切割尺寸為8英寸。LJE28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com


(文:化合物半導(dǎo)體市場(chǎng)Jump整理)LJE28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com


更多SiC和GaN的市場(chǎng)資訊,請(qǐng)關(guān)注微信公眾賬號(hào):化合物半導(dǎo)體市場(chǎng)。LJE28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com


本文鏈接:http://www.www897cc.com/showinfo-27-8395-0.html日本開發(fā)這項(xiàng)新技術(shù),可將SiC晶圓制造成本降低30%

聲明:本網(wǎng)頁內(nèi)容旨在傳播知識(shí),若有侵權(quán)等問題請(qǐng)及時(shí)與本網(wǎng)聯(lián)系,我們將在第一時(shí)間刪除處理。郵件:2376512515@qq.com

上一篇: 江西國(guó)政招標(biāo)咨詢有限公司關(guān)于江西省美術(shù)館采購南昌地鐵1號(hào)線八一廣場(chǎng)站LED大屏廣告宣傳服務(wù)項(xiàng)目(招標(biāo)編號(hào):JXGZ2023-08-1103-02)競(jìng)爭(zhēng)性磋商采購公告

下一篇: Omdia:2023年第二季度半導(dǎo)體行業(yè)營(yíng)收環(huán)比增長(zhǎng)3.8% 達(dá)1243億美元

標(biāo)簽:
  • 熱門焦點(diǎn)
Top 主站蜘蛛池模板: 蒙城县| 同江市| 郸城县| 宁安市| 河池市| 石泉县| 乌拉特中旗| 京山县| 德庆县| 四会市| 罗甸县| 康马县| 黄浦区| 本溪| 德庆县| 泊头市| 隆回县| 正定县| 成武县| 凤翔县| 龙泉市| 松潘县| 彝良县| 曲周县| 沙河市| 丰宁| 晋城| 收藏| 长宁县| 蕲春县| 屏南县| 安泽县| 长治市| 吴堡县| 申扎县| 宜春市| 肇州县| 平乡县| 浏阳市| 渑池县| 林州市|