近日，據(jù)國方創(chuàng)新發(fā)布消息，華虹虹芯基金完成了對(duì)大束科技（北京）有限責(zé)任公司A輪的獨(dú)家投資。大束科技成立于2018年，專注于半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備及實(shí)驗(yàn)室電鏡核心部件的研發(fā)，同時(shí)在電子束設(shè)備運(yùn)維領(lǐng)域表現(xiàn)突出。
公司目前擁有5項(xiàng)發(fā)明專利，其在電子束設(shè)備的消耗性與易損性部件方面取得了顯著成績(jī)，已進(jìn)入規(guī)模化量產(chǎn)階段。大束科技的產(chǎn)品線覆蓋電子槍、離子槍、探測(cè)器、光闌等關(guān)鍵部件，不僅滿足存量電鏡的維修保養(yǎng)需求，還廣泛適配各類電子束設(shè)備，廣受科研及半導(dǎo)體客戶好評(píng)。
值得一提的是，大束科技自主研發(fā)的熱場(chǎng)發(fā)射電子源和液態(tài)鎵離子源，性能與使用壽命達(dá)到國際領(lǐng)先水平，且能完美兼容多種機(jī)型，成功實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵部件的國產(chǎn)替代。本輪融資將用于加速研發(fā)創(chuàng)新和擴(kuò)大產(chǎn)能，進(jìn)一步提升國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的安全性，降低對(duì)進(jìn)口部件的依賴。

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