2月17日,至純科技發布公告稱,公司正在籌劃通過發行股份及支付現金相結合的方式,購買貴州威頓晶磷電子材料股份有限公司的控股權,并募集配套資金。此次交易完成后,威頓晶磷將成為至純科技的控股子公司。公司股票自2月17日起停牌,預計停牌時間不超過10個交易日。
至純科技是國內領先的濕法設備供應商之一,旗下至微科技能夠覆蓋晶圓制造中邏輯電路、高密度存儲、化合物半導體等多個細分領域的市場需求。公司高端產品如SPM高溫硫酸清洗設備、去膠設備和晶背清洗設備已取得突破,并交付給多家國內主流晶圓廠。其中,至微的S300 SPM機臺單設備在用戶量產線上持續穩定運行,標志著高階濕法設備國產替代進口的重要里程碑。
至純科技在系統集成及支持設備領域也保持持續增長,已成為國內最大的高純工藝系統支持設備供應商。公司支持設備業務量接近系統集成業務總量的40%,有效打破了國外氣體公司壟斷的格局。其核心技術能夠實現ppb(十億分之一)級的不純物控制,超越國內競爭者,部分功能甚至超越國際品牌。核心客戶包括中芯國際、華虹、上海華力、長江存儲、合肥長鑫、士蘭微等一線集成電路制造企業。
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