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7nm高端DUV光刻機(jī)出口被撤銷(xiāo)！ASML：中國(guó)客戶(hù)積壓訂單都已交付

來(lái)源：責(zé)編：時(shí)間：2024-01-02 17:27:40 283觀看

導(dǎo)讀快科技1月2日消息，據(jù)ASML官方公告，2023年NXT：2050i、NXT：2100i光刻系統(tǒng)的出貨許可證被撤銷(xiāo)，不過(guò)這沒(méi)有太多可以擔(dān)心的地方。按照ASML的說(shuō)法，2023年基本交付了中國(guó)大陸客戶(hù)預(yù)付的DUV積壓訂單（至于2024年是不是可以

快科技1月2日消息，據(jù)ASML官方公告，2023年NXT：2050i、NXT：2100i光刻系統(tǒng)的出貨許可證被撤銷(xiāo)，不過(guò)這沒(méi)有太多可以擔(dān)心的地方。

按照ASML的說(shuō)法，2023年基本交付了中國(guó)大陸客戶(hù)預(yù)付的DUV積壓訂單（至于2024年是不是可以繼續(xù)，ASML之前就表示不能確定。）。

事實(shí)上，2023年ASML一直都在向中國(guó)客戶(hù)供應(yīng)光刻機(jī)，其中就包含了NXT:2000i和更先進(jìn)的DUV型號(hào)的產(chǎn)品，且基本交付了中國(guó)大陸客戶(hù)預(yù)付的DUV積壓訂單。

至于先進(jìn)的7nm、14nm等先進(jìn)的EUV光刻機(jī)，ASML依然不能給中國(guó)客戶(hù)出售。

據(jù)ASML官網(wǎng)提供的信息，該公司目前在售的主流浸沒(méi)式DUV光刻機(jī)產(chǎn)品共有三款，分別是：TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。

ASML官網(wǎng)上關(guān)于這一臺(tái)TNXT:1980Di介紹，在分辨率方面，寫(xiě)到是大于等于38nm（可以支持到7nm左右），而這是指一次曝光分辨率，事實(shí)上光刻機(jī)是可以進(jìn)行多次曝光。

7nm高端DUV買(mǎi)不少！ASML：今年基本交付中國(guó)客戶(hù)預(yù)付光刻機(jī)積壓訂單

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