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國內(nèi)微影機(jī)業(yè)加速研發(fā),ASML進(jìn)口受限促動國產(chǎn)崛起

來源: 責(zé)編: 時間:2023-11-20 17:12:56 241觀看
導(dǎo)讀上海微電子裝備(SMEE)近日動作頻頻,展現(xiàn)出強(qiáng)烈的研發(fā)新動向。由于國內(nèi)進(jìn)口ASML微影機(jī)受限,促使本土微影機(jī)業(yè)者加緊投入研發(fā)。在此背景下,SMEE近期大幅擴(kuò)招,表明其正規(guī)劃邁向IPO之途,以吸引更多優(yōu)秀人才參與其發(fā)展。同時,國內(nèi)

上海微電子裝備(SMEE)近日動作頻頻,展現(xiàn)出強(qiáng)烈的研發(fā)新動向。由于國內(nèi)進(jìn)口ASML微影機(jī)受限,促使本土微影機(jī)業(yè)者加緊投入研發(fā)。在此背景下,SMEE近期大幅擴(kuò)招,表明其正規(guī)劃邁向IPO之途,以吸引更多優(yōu)秀人才參與其發(fā)展。eEu28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com


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同時,國內(nèi)科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所(簡稱長春光機(jī)所)也在微影機(jī)技術(shù)研發(fā)上取得一定進(jìn)展。2017年,長春光機(jī)所的「極紫外微影關(guān)鍵技術(shù)研究」獲得國內(nèi)專項(xiàng)驗(yàn)收,推動了國內(nèi)EUV技術(shù)研發(fā)的進(jìn)展。有消息稱,2023年4月,國內(nèi)科學(xué)院院士白春禮曾參觀過長春光機(jī)所的EUV樣機(jī),但官方并未證實(shí)此消息。近期,國務(wù)院總理李強(qiáng)也赴長春光機(jī)所進(jìn)行公開調(diào)研,顯示出國家對微影機(jī)技術(shù)研發(fā)的重視。eEu28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com


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上海微電子裝備集團(tuán)作為承擔(dān)多個「國家IC前道微影機(jī)研制專項(xiàng)任務(wù)」的公司,近日大規(guī)模對外招聘,包括光學(xué)設(shè)計、光學(xué)檢測、光學(xué)加工、機(jī)械設(shè)計、電機(jī)設(shè)計、控制硬件系統(tǒng)、制造加工、供應(yīng)商管理、高級技術(shù)工程師等多個職位,起薪普遍在人民幣1.5萬~1.8萬元以上,關(guān)鍵職位如光學(xué)領(lǐng)域的專業(yè)工程師月薪更達(dá)人民幣4萬元。eEu28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com


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微影機(jī)是半導(dǎo)體制造中最復(fù)雜、關(guān)鍵的制程步驟之一,集成了多項(xiàng)技術(shù)。ASML將微影機(jī)組件分為三大模塊:照明光學(xué)、光罩和晶圓模塊。由于最高端的EUV微影機(jī)約有10萬多個零組件,制造門檻極高,因此ASML幾乎壟斷了全球高端機(jī)種市場。然而,由于美國對華管制政策的影響,中國自行研發(fā)微影機(jī)系統(tǒng)似乎成為了必然的結(jié)果。eEu28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com


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盡管如此,與國際大廠相比,國內(nèi)本土微影機(jī)仍然存在巨大差距。目前主要處于28納米和14納米制程時代,在新進(jìn)制程領(lǐng)域如EUV與高端的DUV系統(tǒng),仍需進(jìn)一步驗(yàn)證與商業(yè)化突破。eEu28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com


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