在中美科技博弈加劇和新一輪關(guān)稅壁壘抬頭的背景下，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)正迎來前所未有的發(fā)展窗口期。據(jù)相關(guān)報(bào)道，美國總統(tǒng)特朗普推動(dòng)對(duì)華產(chǎn)品加征關(guān)稅，導(dǎo)致部分美系半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口成本上漲至少三成以上，這加速了本土設(shè)備廠商的替代進(jìn)程。
北方華創(chuàng)和中微公司預(yù)計(jì)在2025年延續(xù)2024年的亮眼業(yè)績(jī)表現(xiàn)。北方華創(chuàng)發(fā)布的2024年財(cái)報(bào)顯示，其營收同比增長35%，凈利年增55%；2025年第一季度繼續(xù)保持強(qiáng)勁增長，營收年增51%，凈利年增約58%。其主要增長動(dòng)力來自關(guān)鍵制程設(shè)備領(lǐng)域的突破，如電容耦合等離子體蝕刻設(shè)備（CCP）、原子層沉積設(shè)備（ALD）及高端單片清洗機(jī)臺(tái)等，這些產(chǎn)品均在中國本土技術(shù)上取得顯著進(jìn)展。
與此同時(shí)，中微公司在2024年的營收達(dá)到人民幣90.65億元，同比增長44.73%。其中，蝕刻設(shè)備貢獻(xiàn)了72.77億元，連續(xù)四年增長率超過五成。中微公司表示，其研發(fā)效率大幅提升，從過去平均需要3到5年研發(fā)一款新設(shè)備，到現(xiàn)在可以縮短至2年甚至更短。
在SEMICON China 2025展會(huì)上，北方華創(chuàng)推出了首款離子植入機(jī)“Sirius MC 313”和12寸電鍍?cè)O(shè)備“Ausip T830”，中微發(fā)布了晶圓邊緣蝕刻設(shè)備“Primo Halona”，拓荊科技展示了ALD、CVD與3D-IC相關(guān)設(shè)備新品。這些跡象表明，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備正在向更多關(guān)鍵制程環(huán)節(jié)邁進(jìn)，技術(shù)涵蓋廣度與深度均有所提升。
據(jù)海關(guān)總署數(shù)據(jù)，2024年中國半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口總額達(dá)335.1億美元，其中曝光機(jī)進(jìn)口額最高，達(dá)107.2億美元，近9成來自荷蘭廠商；離子植入機(jī)則有79%從美國進(jìn)口，其他如蝕刻機(jī)、熱處理設(shè)備主要依賴日本設(shè)備業(yè)者。
業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為，當(dāng)前的關(guān)稅壁壘和科技圍堵正倒逼中國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)加速實(shí)現(xiàn)本土化。盡管美方加征關(guān)稅對(duì)中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的直接沖擊有限，但本土封測(cè)企業(yè)積極推動(dòng)設(shè)備與材料供應(yīng)鏈的本土化，進(jìn)一步削弱了外部沖擊帶來的風(fēng)險(xiǎn)。
政府對(duì)本土半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展的支持力度不斷加大，無論是在政策資金扶持、重大研發(fā)項(xiàng)目推動(dòng)方面，還是從鼓勵(lì)改采本土設(shè)備的導(dǎo)入為切入點(diǎn)，都在為這條半導(dǎo)體上游賽道持續(xù)注入動(dòng)力。

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