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君原電子將在光谷建設靜電吸盤產線

來源:icspec 責編: 時間:2025-04-04 08:39:57 58觀看
導讀據(jù)中國光谷消息,4月2日,君原電子與武漢東湖高新區(qū)正式簽約,計劃在光谷筑芯科技產業(yè)園建設半導體靜電吸盤項目。該項目將為光谷集成電路企業(yè)提供靜電吸盤的生產與維修服務。君原電子成立于2020年,專注于半導體靜電吸盤(ESC)
據(jù)中國光谷消息,4月2日,君原電子與武漢東湖高新區(qū)正式簽約,計劃在光谷筑芯科技產業(yè)園建設半導體靜電吸盤項目。該項目將為光谷集成電路企業(yè)提供靜電吸盤的生產與維修服務。
君原電子成立于2020年,專注于半導體靜電吸盤(ESC)的研發(fā)與量產,其產品覆蓋14納米及以上制程的主要刻蝕機臺應用,并已通過國內12英寸晶圓廠驗證。公司總經(jīng)理王繼增表示,項目落戶光谷后,將進一步縮短與當?shù)丶呻娐菲髽I(yè)的距離,降低物流成本,提升產品應用效率。未來,君原電子將與產業(yè)鏈上下游企業(yè)協(xié)同合作,持續(xù)突破靜電吸盤技術,力爭成為全球領先的集成電路核心零部件供應商。
靜電吸盤是晶圓生產設備的關鍵部件之一,利用靜電吸附和搬運晶圓,類似芯片制造的“隱形手”。它被廣泛應用于刻蝕機、光刻機和鍍膜設備中,能夠確保晶圓在加工過程中保持穩(wěn)定。由于陶瓷材料與精密電極的制造難度較高,靜電吸盤技術成為國內企業(yè)在推進芯片制造國產化過程中亟需攻克的重要領域。
此次簽約項目位于未來科技城的光谷筑芯科技產業(yè)園,將建設專門的靜電吸盤產線,助力光谷集成電路產業(yè)的發(fā)展。
圖源:中國光谷,光谷筑芯科技產業(yè)園效果圖

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