據國際半導體產業協會（SEMI）數據顯示，2024年全球離子注入設備市場規模已達276億元，預計到2030年將增長至307億元，年復合增長率為2.1%。其中，中國國內市場空間約160億元，展現出巨大的國產替代潛力。
3月26日，在SEMICON China 2025展會上，北方華創正式宣布進軍離子注入設備市場，并推出首款國產離子注入機Sirius MC 313。這一戰略舉措標志著北方華創在半導體核心裝備領域完成關鍵布局，為國產高端半導體設備的突破注入新動力。
離子注入設備是芯片制造中的重要環節，雖然其關注度不如光刻機，但在半導體制造中卻不可或缺。該設備通過將特定元素的帶電離子以精確控制的能量注入半導體材料，實現對材料電學性能的精準調控。其技術流程包括離子源生成、電場加速以及精確注入等關鍵步驟，工藝復雜且技術壁壘較高。
北方華創此次推出的Sirius MC 313，不僅填補了國內高端離子注入設備的空白，還有望打破國際巨頭長期以來的市場壟斷。隨著該設備的量產，北方華創將成為全球少數具備離子注入設備生產能力的供應商之一，為中國半導體產業鏈的自主可控提供重要支持。
行業專家認為，此次布局將顯著提升中國在關鍵設備領域的自主創新能力，為下游芯片制造企業提供更多選擇，推動中國半導體產業向高端化發展。

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