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ASML 向英特爾交付首臺高數值孔徑光刻設備

來源: 責編: 時間:2023-12-22 17:12:34 320觀看
導讀 12 月 22 日消息,ASML 公司近日通過官方 X(推特)賬號發布推文,宣布已經向英特爾交付首臺高數值孔徑光刻設備。此前報道,ASML 研制的高數值孔徑光刻設備主要用于生產 2nm 工藝半導體芯片,數值孔徑(NA)光學性能從 0.33

12 月 22 日消息,ASML 公司近日通過官方 X(推特)賬號發布推文,宣布已經向英特爾交付首臺高數值孔徑光刻設備。G4S28資訊網——每日最新資訊28at.com

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此前報道,ASML 研制的高數值孔徑光刻設備主要用于生產 2nm 工藝半導體芯片,數值孔徑(NA)光學性能從 0.33 提高到 0.55。G4S28資訊網——每日最新資訊28at.com

ASML 明年規劃產能僅有 10 臺,而英特爾已經預訂了其中 6 臺,不過 ASML 計劃在未來幾年內將此設備產能提高到每年 20 臺。G4S28資訊網——每日最新資訊28at.com

ASML 新的高數值孔徑 EUV 系統涉及一種全新的工具,具有 0.55 數值孔徑的鏡頭,分辨率為 8 納米。G4S28資訊網——每日最新資訊28at.com

ASML 官方并未說明向英特爾交付了哪款型號的光刻設備,非官方消息來源稱本次交付的是 Twinscan EXE:5000 原型,交付給英特爾位于俄勒岡州的研究中心。G4S28資訊網——每日最新資訊28at.com

報道稱本次交付采用了 250 個大箱包裝,共計占用了 13 個集裝箱,考慮到交貨時間和后續安裝,真正投入使用還需要數月時間。G4S28資訊網——每日最新資訊28at.com

此外報道稱,英特爾在量產過程中,會使用 ASML 更先進的 Twinscan EXE:5200 光刻設備,預估一臺成本為 2.5 億歐元。G4S28資訊網——每日最新資訊28at.com

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