快科技12月22日消息,據(jù)媒體報道,荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備制造巨頭阿斯麥(ASML)確認,向英特爾交付首臺高數(shù)值孔徑(NA)的極紫外(EUV)光刻系統(tǒng)。
數(shù)值孔徑是用來衡量光學(xué)系統(tǒng)能夠收集的光的角度范圍,通過增大數(shù)值孔徑,可以實現(xiàn)更小的分辨率和更高的分辨能力,從而滿足微細加工的要求。
據(jù)介紹,每臺新機器的造價成本超過3億美元(約合21.4億元人民幣),可以滿足一線芯片制造商的需求,未來十年內(nèi)能夠制造更小、更好的芯片。
阿斯麥發(fā)布了這臺機器的一部分從荷蘭維爾德霍芬總部出發(fā)的照片,照片中機器的一部分被裝在一個保護盒里,周圍還系著一條紅絲帶。
阿斯麥同時表示:“我們很興奮,也很自豪能將我們的第一個高數(shù)值孔徑EUV系統(tǒng)交付給英特爾。”
這臺機器組裝后將比一輛卡車還大,將用250個單獨的板條箱運送,其中包括13個大集裝箱,預(yù)計將從2026年或2027年開始用于商用芯片制造。
除了英特爾外,臺積電、三星、SK海力士和美光等也都訂購了這款機器。
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