據(jù)Tom's Hardware報(bào)道，澳大利亞蒙納許大學(xué)研究團(tuán)隊(duì)近期開發(fā)出一種新型石墨烯過濾膜，可有效去除水流中的全氟／多氟烷基物質(zhì)（PFAS）。這種物質(zhì)因難以自然分解，被稱為“永久性化學(xué)物質(zhì)”，在半導(dǎo)體制造中廣泛應(yīng)用，但也帶來了嚴(yán)重的環(huán)境污染問題。
PFAS在半導(dǎo)體供應(yīng)鏈中扮演重要角色，例如微影制程中使用的光阻劑液體和蝕刻室中的氣體。然而，PFAS具有極高的水溶性，擴(kuò)散范圍廣，傳統(tǒng)聚酰胺膜僅能去除約35%的PFAS，而新型石墨烯過濾膜的去除率超過90%，性能大幅提升。
研究團(tuán)隊(duì)采用剪切校準(zhǔn)打印技術(shù)生產(chǎn)過濾膜，這一方式具備高度可擴(kuò)展性。此外，蒙納許大學(xué)與石墨烯制造商N(yùn)ematiQ關(guān)系密切，后者已承諾協(xié)助推廣這項(xiàng)技術(shù)。預(yù)計(jì)該過濾膜很快將實(shí)現(xiàn)商用化，為工業(yè)廢水處理和垃圾掩埋場滲出液凈化提供新方案。
據(jù)2022年某晶圓廠數(shù)據(jù)顯示，其排放廢水中PFAS含量高達(dá)7.8萬ppt，遠(yuǎn)超美國國家環(huán)境保護(hù)局（EPA）規(guī)定的4ppt標(biāo)準(zhǔn)。盡管有人呼吁全面禁用PFAS，但考慮到其在半導(dǎo)體制造中的重要性，這在短期內(nèi)并不現(xiàn)實(shí)。因此，開發(fā)高效污染控制技術(shù)成為關(guān)鍵。
這一突破性技術(shù)不僅有助于減少PFAS污染，還能幫助半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在經(jīng)濟(jì)效益與環(huán)境保護(hù)之間找到更好的平衡點(diǎn)。

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