據(jù)媒體報道,陽明交通大學(xué)電子研究所成功開發(fā)出一款深紫外光(Deep Ultraviolet, DUV)超穎透鏡,這項技術(shù)在半導(dǎo)體和生醫(yī)影像等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用前景。由于深紫外光波長比UVA、UVB更短,其控制元件成本高昂,限制了實際應(yīng)用。然而,這款新型超穎透鏡的問世,為相關(guān)領(lǐng)域帶來了突破性進展,并登上國際期刊《Nano Letters》封面。
這款超穎透鏡厚度僅380納米,遠小于一根頭發(fā)絲,但其光學(xué)操控能力卻達到了深紫外光聚焦的極限。其核心創(chuàng)新在于首次采用氮化鋁材料,這種材料在積體電路中廣泛使用,具備耐高溫、散熱性能優(yōu)異、化學(xué)穩(wěn)定性高以及不吸收深紫外光的特性。實驗表明,這款透鏡不僅可用于深紫外光影像拍攝,還能完成深紫外光超快雷射雕刻,這兩項成果均為國際首次實現(xiàn)。
陽明交大電子研究所助理教授曾銘綸表示,深紫外光技術(shù)在基礎(chǔ)科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用中具有重要價值,但相關(guān)設(shè)備的高昂成本一直是推廣的障礙。例如,用于精密深紫外雷射加工的鏡頭造價高達百萬新臺幣。超穎透鏡通過數(shù)以萬計精心設(shè)計的半導(dǎo)體奈米天線,調(diào)控幾何參數(shù)以精確操控光的產(chǎn)生與聚焦,為降低成本提供了新思路。
超穎透鏡是一種基于奈米結(jié)構(gòu)的光學(xué)元件,具備傳統(tǒng)透鏡的功能,同時展現(xiàn)更豐富的特性。近年來,該技術(shù)已被廣泛應(yīng)用于全彩影像技術(shù)、量子光學(xué)和生醫(yī)檢測等高精度領(lǐng)域。有傳言稱,蘋果可能在新一代手機中引入這種全新的半導(dǎo)體光學(xué)技術(shù)。
研究團隊表示,未來將借助超穎透鏡輕薄短小、功能多樣且開發(fā)自由度高的特點,推動其在矽光子元件加工、生醫(yī)影像檢測以及半導(dǎo)體檢測等領(lǐng)域的關(guān)鍵應(yīng)用。同時,團隊也看好由半導(dǎo)體奈米結(jié)構(gòu)組成的超穎介面在未來量產(chǎn)與商業(yè)化方面的潛力。
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