據俄羅斯衛星通訊社3月25日報道，莫斯科“澤列諾格勒納米技術中心”公司宣布完成了俄羅斯首臺350納米光刻機的研發工作，這標志著俄羅斯在微芯片生產關鍵設備領域取得了重要突破。該設備將用于微電子產品的生產，包括汽車、航空航天、工業自動化和消費電子等多個領域。
莫斯科市長謝爾蓋·索比亞寧在“電報”頻道上發文稱，全球能夠制造光刻機的國家不到10個，俄羅斯已成功躋身這一行列。他表示，這一設備的問世是俄羅斯向自主生產微電子產品和實現技術獨立邁出的重要一步。與國外同類設備相比，俄羅斯的光刻機首次采用固體激光器作為輻射裝置，取代了傳統的汞燈。固體激光器具有功率大、能效高、耐用性強以及光譜更窄的優勢。
公司總經理阿納托利·科瓦列夫透露，這一項目是在與白俄羅斯“Planar”工廠的合作下完成的。2024年12月，設備通過測試并獲得國家委員會的認可，所有申報的技術特征均得到驗證。目前已有客戶購買了這一設備，工藝流程正根據用戶需求進行調整。
據悉，這款光刻機的工作區域面積達到22x22毫米，可加工最大直徑為200毫米的晶圓，主要用于電力電子和光子學領域的微電子設備生產。莫斯科市投資和工業政策局表示，“澤列諾格勒納米技術中心”公司已具備批量生產該設備的能力，同時還在研發130納米光刻機，預計2026年完成。
莫斯科政府部長兼投資和工業政策局局長阿納托利·加爾布佐夫指出，莫斯科是俄羅斯微電子產業的核心，占全國微電子企業總營收的40%。光子學和微電子學的發展在通信、傳感技術等領域具有廣泛的應用前景，“莫斯科科技城”經濟特區的入駐企業正在推進多個戰略性項目。

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