6 月 25 日消息,法國 CEA-Leti 研究所正式宣布牽頭建設代號 FAMES 的 FD-SOI 中試線,該項目整體投資達 8.3 億歐元(IT酷哥備注:當前約 64.74 億元人民幣)。
CEA-Leti 研究所是法國原子能和替代能源委員會下屬機構,也是 FD-SOI 全耗盡型絕緣體上硅的發明單位。
FD-SOI 是一項平面 COMS 技術,采用了與先進制程領域流行的 FinFET 三維晶體管不同的技術路線:
FD-SOI 工藝在基底硅的頂部掩埋一層超薄氧化物絕緣體,降低了源極和漏極之間的寄生電容,并有效地限制了從源極流向漏極的電子,顯著降低了影響性能的漏電流效應。
FAMES 是歐洲芯片聯合企業 Chip JU 指定的四條先進半導體中試線項目之一,其它項目還包括比利時 imec 牽頭的 NanoIC 亞 2nm 制程 SoC 中試線等。
FAMES FD-SOI 中試線將開發以下五套新技術:
10nm、7nm 兩個制程節點的 FD-SOI 工藝;
多種 eNVM 嵌入式非易失性存儲,包含 OxRAM、FeRAM、MRAM 和 FeFET;
開關、濾波器、電容器等射頻元件;
異構集成和順序集成這兩種 3D 集成工藝;
用于開發 PMIC 電路上 DC-DC 轉換器的小型電感器。
這五套技術將為低功耗 MCU、MPU、尖端 AI / ML 設備、射頻設備、5G / 6G 芯片、車用芯片、智能傳感器等創造市場機遇。
CEA-Leti 首席技術官讓-勒內-萊克佩斯 (Jean-RenéLèquepeys) 表示:
通過整合和結合一系列尖端技術,FAMES 中試線將為顛覆性的 SoC 架構打開大門,并為未來芯片提供更智能、更環保和更高效的解決方案。
FAMES 項目將特別關注半導體的可持續發展挑戰。
CEA-Leti 表示 FAMES FD-SOI 中試線項目已獲得至少 43 家“電子系統價值鏈”企業的支持,合作伙伴將包括比利時 imec,德國弗勞恩霍夫應用促進協會等歐洲多國重要研究機構。
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