日前，“2024 集成電路產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新發(fā)展交流會(huì)暨中國(guó)集成電路創(chuàng)新聯(lián)盟大會(huì)”在北京舉行，會(huì)上頒發(fā)了“第七屆集成電路產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新獎(jiǎng)”（簡(jiǎn)稱(chēng) IC 創(chuàng)新獎(jiǎng)）。經(jīng)過(guò)申報(bào)、受理、評(píng)選等環(huán)節(jié)，東方晶源自主研發(fā)的關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備 CD-SEM 成功斬獲第七屆 IC 創(chuàng)新獎(jiǎng) —— 成果產(chǎn)業(yè)化獎(jiǎng)。zn128資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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CD-SEM 用于集成電路硅片圖形關(guān)鍵尺寸量測(cè)，是良率控制核心設(shè)備。該類(lèi)設(shè)備被日本和美國(guó)公司壟斷，國(guó)內(nèi)空白，屬于“卡脖子”產(chǎn)品。東方晶源自 2021 年先后推出 12 英寸 CD-SEM 和 6&8 英寸兼容 CD-SEM 設(shè)備，成功突破多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，如高速高精度硅片傳輸定位、圖像像差補(bǔ)償?shù)龋瑒?chuàng)新性地提出了復(fù)合高精度定位技術(shù)、電磁復(fù)合偏轉(zhuǎn)器及多級(jí)視場(chǎng)像差校正方法，從而大幅提升了設(shè)備性能與良率優(yōu)化能力。zn128資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

東方晶源 CD-SEM 產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于多個(gè)制程領(lǐng)域，包括 12 英寸≥28nm 邏輯制程、3D-NAND 制程、DRAM 制程，以及 8 英寸 Si、MEMS 制程和 6 英寸第三代半導(dǎo)體 SiC、GaN、GaAs 等化合物制程，成功獲得國(guó)內(nèi)多家晶圓制造頭部企業(yè)認(rèn)可，具有極高的性能表現(xiàn)和可靠性，市場(chǎng)認(rèn)可度高。zn128資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

“IC 創(chuàng)新獎(jiǎng)”重點(diǎn)鼓勵(lì)集成電路技術(shù)創(chuàng)新、成果產(chǎn)業(yè)化、產(chǎn)業(yè)鏈上下游合作，是集成電路產(chǎn)業(yè)最重要的技術(shù)獎(jiǎng)項(xiàng)之一。其中“成果產(chǎn)業(yè)化獎(jiǎng)項(xiàng)”皆在表彰集成電路創(chuàng)新成果產(chǎn)業(yè)化推進(jìn)和市場(chǎng)拓展方面取得突出業(yè)績(jī)的單位和團(tuán)隊(duì)，東方晶源 CD-SEM 獲此獎(jiǎng)項(xiàng)實(shí)至名歸。值得一提的是，東方晶源電子束缺陷檢測(cè)設(shè)備 EBI 產(chǎn)品曾獲得第五屆 IC 創(chuàng)新獎(jiǎng) —— 技術(shù)創(chuàng)新獎(jiǎng)。zn128資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

檢測(cè)、量測(cè)設(shè)備是集成電路制造過(guò)程中進(jìn)行良率控制的關(guān)鍵設(shè)備，作為立足良率管理的企業(yè)，東方晶源自成立以來(lái)便聚焦電子束檢測(cè)、量測(cè)領(lǐng)域，經(jīng)過(guò)十年的發(fā)展，突破多項(xiàng)關(guān)鍵核心技術(shù)、產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程突飛猛進(jìn)、積極布局電子束缺陷復(fù)檢設(shè)備 DR-SEM，為我國(guó)芯片安全做出了重要的貢獻(xiàn)。未來(lái)，東方晶源將繼續(xù)在電子束檢測(cè)、量測(cè)領(lǐng)域深耕，不斷進(jìn)行技術(shù)突破與產(chǎn)品創(chuàng)新。同時(shí)，將充分發(fā)揮公司在計(jì)算光刻 OPC 等軟件方面的優(yōu)勢(shì)，將軟硬件進(jìn)行協(xié)同，為國(guó)內(nèi)集成電路制造良率管理探索全新路徑。zn128資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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