在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的聚光燈下，ASML的極紫外光刻機(jī)長(zhǎng)期占據(jù)著舞臺(tái)中央。然而，在中國(guó)，科學(xué)家們正默默耕耘于另一條關(guān)鍵賽道，并傳來(lái)了振奮人心的消息。Fsy28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

浙江大學(xué)余杭量子研究院自主研發(fā)的國(guó)產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機(jī)“羲之”，近日成功通過(guò)了應(yīng)用測(cè)試，其0.6納米的精度指標(biāo)令人矚目，標(biāo)志著中國(guó)在納米級(jí)精密加工裝備領(lǐng)域取得了歷史性突破。這一成就，如同一把精準(zhǔn)的“中國(guó)刻刀”，將為量子計(jì)算、新型半導(dǎo)體等前沿領(lǐng)域注入自主可控的力量，深刻改變我國(guó)量子科技發(fā)展的生態(tài)格局。Fsy28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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0.6納米的精度，是一個(gè)令人難以想象的概念。它相當(dāng)于將一根人類頭發(fā)絲縱向分割成8萬(wàn)份，足以在單根頭發(fā)絲的橫截面上完整刻寫(xiě)出北京五環(huán)的全幅航拍圖，每一條高速公路的走向都清晰可見(jiàn)。更為關(guān)鍵的是，“羲之”并非實(shí)驗(yàn)室中的概念產(chǎn)品，而是一款已經(jīng)步入商業(yè)化階段的成熟設(shè)備。Fsy28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

隨著摩爾定律逐漸逼近物理極限，傳統(tǒng)硅基芯片的發(fā)展空間日益受限。量子計(jì)算，作為下一代信息技術(shù)的新方向，對(duì)加工精度的要求達(dá)到了原子級(jí)別。其核心結(jié)構(gòu)如超導(dǎo)電路、量子點(diǎn)等，尺寸通常在幾十納米以下，這對(duì)制造裝備提出了極高的要求。而電子束光刻機(jī)，正是打開(kāi)這一未來(lái)之門(mén)的關(guān)鍵鑰匙。長(zhǎng)期以來(lái)，這類高端電子束光刻設(shè)備一直被美國(guó)、日本公司所壟斷，且被列入禁運(yùn)清單，導(dǎo)致中國(guó)等頂尖科研機(jī)構(gòu)難以獲取。Fsy28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

“羲之”電子束光刻機(jī)的問(wèn)世，徹底打破了這一被動(dòng)局面。據(jù)研發(fā)團(tuán)隊(duì)介紹，該設(shè)備已完成從實(shí)驗(yàn)室樣機(jī)到商品機(jī)的全流程轉(zhuǎn)化，具備量產(chǎn)能力，可直接接受訂單、開(kāi)具發(fā)票并進(jìn)入芯片制造產(chǎn)線。這一跨越，不僅意味著中國(guó)高端半導(dǎo)體裝備實(shí)現(xiàn)了從研發(fā)到交付、服務(wù)、推廣的質(zhì)變，更彰顯了中國(guó)在半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域的自主創(chuàng)新實(shí)力。Fsy28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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“羲之”的成功，并非孤立事件，而是中國(guó)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)鏈整體崛起的縮影。在全球化逆流和技術(shù)封鎖加劇的背景下，中國(guó)科學(xué)家和工程師們通過(guò)科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新的深度融合，不斷突破關(guān)鍵核心技術(shù)壁壘。浙江大學(xué)與余杭量子研究院長(zhǎng)達(dá)數(shù)年的技術(shù)積累，以及浙江省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的持續(xù)投入，為“羲之”的成功奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。正是這些年的不懈努力和持續(xù)投入，讓我們不僅趕上了國(guó)際步伐，更在某些細(xì)分領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了超越。Fsy28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)面臨技術(shù)路線分化的關(guān)鍵時(shí)刻，“羲之”電子束光刻機(jī)的誕生，無(wú)疑為中國(guó)參與下一代技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)制定提供了重要籌碼。同時(shí)，它也將推動(dòng)我國(guó)構(gòu)建自主可控的全鏈條半導(dǎo)體裝備體系，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的未來(lái)發(fā)展注入強(qiáng)勁動(dòng)力。Fsy28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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