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國際首次!復(fù)旦團(tuán)隊(duì)實(shí)現(xiàn)超快閃存的規(guī)模集成和極限微縮

來源: 責(zé)編: 時(shí)間:2024-08-13 16:47:44 110觀看
導(dǎo)讀 快科技8月13日消息,據(jù)“復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院”官微發(fā)文,周鵬-劉春森團(tuán)隊(duì)從界面工程出發(fā),在國際上首次實(shí)現(xiàn)了大規(guī)模1Kb納秒超快閃存陣列集成驗(yàn)證,并證明了其超快特性可延伸至亞10納米。據(jù)介紹,人工智能

快科技8月13日消息,據(jù)“復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院”官微發(fā)文,周鵬-劉春森團(tuán)隊(duì)從界面工程出發(fā),在國際上首次實(shí)現(xiàn)了大規(guī)模1Kb納秒超快閃存陣列集成驗(yàn)證,并證明了其超快特性可延伸至亞10納米。kY528資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

據(jù)介紹,人工智能的飛速發(fā)展迫切需要高速非易失存儲(chǔ)技術(shù),當(dāng)前主流非易失閃存的編程速度普遍在百微秒級,無法支撐應(yīng)用需求。kY528資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

該研究團(tuán)隊(duì)在前期發(fā)現(xiàn)二維半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)能夠?qū)⑵渌俣忍嵘磺П兑陨希瑢?shí)現(xiàn)顛覆性的納秒級超快存儲(chǔ)閃存技術(shù)。但是,實(shí)現(xiàn)規(guī)模集成、走向?qū)嶋H應(yīng)用仍具有挑戰(zhàn)。kY528資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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為此,研究人員開發(fā)了超界面工程技術(shù),在規(guī)?;S閃存中實(shí)現(xiàn)了具備原子級平整度的異質(zhì)界面,結(jié)合高精度的表征技術(shù),顯示集成工藝優(yōu)于國際水平。kY528資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

研究人員通過嚴(yán)格的直流存儲(chǔ)窗口、交流脈沖存儲(chǔ)性能測試,證實(shí)了二維新機(jī)制閃存在1Kb存儲(chǔ)規(guī)模中,在納秒級非易失編程速度下的良率可高達(dá)98%,這一良率高于國際半導(dǎo)體技術(shù)路線圖對閃存制造89.5%的良率要求。kY528資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

此外,研究團(tuán)隊(duì)研發(fā)了不依賴先進(jìn)光刻設(shè)備的自對準(zhǔn)工藝,結(jié)合原始創(chuàng)新的超快存儲(chǔ)疊層電場設(shè)計(jì)理論,成功實(shí)現(xiàn)了溝道長度為8納米的超快閃存器件,是目前短溝道閃存器件,并突破了硅基閃存物理尺寸極限(約15納米)。kY528資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

在原子級薄層溝道支持下,這一超小尺寸器件具備20納秒超快編程、10年非易失、十萬次循環(huán)壽命和多態(tài)存儲(chǔ)性能。有望推動(dòng)超快顛覆性閃存技術(shù)產(chǎn)業(yè)化。kY528資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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