當(dāng)前位置：首頁 > 科技 > 芯片

國產(chǎn)SiC技術(shù)再突破，獲頭部企業(yè)一致肯定

來源：責(zé)編：時(shí)間：2023-09-12 14:41:39 307觀看

導(dǎo)讀最近，國產(chǎn)SiC設(shè)備又傳來振奮人心的消息——北京中電科電子裝備有限公司的SiC晶錠和晶片減薄機(jī)實(shí)現(xiàn)了6/8英寸大尺寸和新工藝路線匹配的雙技術(shù)突破。據(jù)了解，該技術(shù)已經(jīng)在SiC襯底制備段及器件背面減薄段實(shí)現(xiàn)了小批量應(yīng)用，并

最近，國產(chǎn)SiC設(shè)備又傳來振奮人心的消息——北京中電科電子裝備有限公司的SiC晶錠和晶片減薄機(jī)實(shí)現(xiàn)了6/8英寸大尺寸和新工藝路線匹配的雙技術(shù)突破。

據(jù)了解，該技術(shù)已經(jīng)在SiC襯底制備段及器件背面減薄段實(shí)現(xiàn)了小批量應(yīng)用，并且獲得了頭部企業(yè)的一致認(rèn)可，而且新的減薄機(jī)協(xié)同SiC激光改質(zhì)剝離切割技術(shù)，可以大幅降低SiC襯底成本和工時(shí)。

眾所周知，SiC襯底制備挑戰(zhàn)極大，尤其是切磨拋關(guān)鍵環(huán)節(jié)。傳統(tǒng)的砂漿線等切割及研磨技術(shù)發(fā)展較為成熟，但存在加工效率低、材料損耗大、自動(dòng)化程度低、面型一致性差等問題，從而導(dǎo)致SiC襯底難以降低成本，阻礙了SiC器件的廣泛采用。

砂漿線切割技術(shù)不足

而激光改質(zhì)剝離切割技術(shù)有望給SiC行業(yè)發(fā)展注入了新的動(dòng)能。據(jù)北京中電科公司分析，相比傳統(tǒng)砂漿線切割，激光剝離技術(shù)可以增加6英寸20mm厚度的SiC晶錠切割產(chǎn)量——從32片增加到大約46片，襯底片產(chǎn)出數(shù)量增加超過44%。

切割損耗與切割片數(shù)對比

而且采用激光剝離技術(shù)，可以大幅縮短襯底切割工時(shí)——總耗時(shí)從超過100小時(shí)縮減到30小時(shí)左右，減少70%以上。

加工時(shí)間對比

同時(shí)，激光技術(shù)還有望減少單面機(jī)械拋光等加工工序，進(jìn)一步為SiC切磨拋環(huán)節(jié)路線帶來新的創(chuàng)新思路。因此，該技術(shù)在SiC襯底加工的成熟應(yīng)用，必將為SiC加工產(chǎn)業(yè)鏈帶來輕資產(chǎn)、高效益的新模式，促進(jìn)SiC襯底降本，為8英寸SiC破局帶來巨大機(jī)遇。

SiC襯底切磨拋環(huán)節(jié)路線對比

不過，激光改質(zhì)剝離切割結(jié)合精密減薄技術(shù)，還可以打造行業(yè)最先進(jìn)的切磨工藝新路徑，能夠更好地降低材料損耗、晶片損傷，縮短加工周期，兩者相結(jié)合不僅可以極大降低SiC襯底制備成本，大幅提高生產(chǎn)效率，有效提升面型一致性，還易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，尤其是在8英寸SiC襯底加工上，與傳統(tǒng)工藝相比優(yōu)勢更加明顯。

為此，在取得激光改質(zhì)剝離切割技術(shù)突破的同時(shí)，北京中電科公司立足行業(yè)所趨，聚焦切磨新工藝的開發(fā)，自主研制6/8英寸SiC晶錠自動(dòng)減薄機(jī)、6/8英寸SiC晶片全自動(dòng)減薄機(jī)，進(jìn)一步推動(dòng)SiC襯底和器件制造產(chǎn)能躍升、降本增效，促進(jìn)SiC行業(yè)向規(guī)?；?、低成本方向發(fā)展。

WG-1250碳化硅自動(dòng)減薄機(jī)和WG-1261碳化硅全自動(dòng)減薄機(jī)

最近，北京中電科公司自研的6/8英寸WG-1250碳化硅（晶錠）自動(dòng)減薄機(jī)、WG-1261碳化硅（晶片）全自動(dòng)減薄機(jī)核心技術(shù)指標(biāo)均取得了關(guān)鍵性突破，6/8英寸SiC減薄后厚度均勻性TTV≤2μm（晶片）/TTV≤3μm（晶錠）；翹曲度（WARP）≤30μm（晶片）；表面彎曲程度（BOW）≤±15μm（晶片）；UPH≥4片/小時(shí)（激光剝離面@單面去除80μm），UPH≥7片/小時(shí)（多線切割面@雙面去除各70μm），這些技術(shù)指標(biāo)的突破與設(shè)備產(chǎn)品的推出，標(biāo)志著北京中電科公司駛?cè)隨iC襯底、SiC器件產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展的快車道。

SiC晶片/晶錠減薄前后及實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)

據(jù)了解，該公司是在原有6英寸SiC自動(dòng)減薄機(jī)和12英寸Si晶圓全自動(dòng)減薄機(jī)的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步優(yōu)化大功率低振動(dòng)氣浮主軸和高剛度高精度氣浮載臺(tái)設(shè)計(jì)，突破晶圓厚度分區(qū)域自動(dòng)控制技術(shù)、晶錠厚度（≤5cm）自動(dòng)測量技術(shù)、不同厚度晶錠同臺(tái)同時(shí)加工技術(shù)及磨削/進(jìn)給自動(dòng)快速迭代技術(shù)等，不斷優(yōu)化激光改質(zhì)剝離切割后的晶錠/晶片磨削工藝。

此外，北京中電科還聯(lián)合鄭州三磨所進(jìn)行粗、細(xì)、精等金剛石磨輪耗材的工藝適配，克服了SiC材料磨不動(dòng)不好磨、晶圓面型控制精度差、磨輪損耗大與匹配性差等問題，滿足了6/8英寸雙尺寸、高質(zhì)量的減薄需求，受到頭部企業(yè)的一致認(rèn)可。

加入碳化硅大佬群，請加微信：hangjiashuo666

自主可控的SiC減薄用關(guān)鍵核心零部件

北京中電科公司表示，他們這次推出的WG-1250碳化硅（晶錠）自動(dòng)減薄機(jī)、WG-1261碳化硅（晶片）全自動(dòng)減薄機(jī)，可聯(lián)合國產(chǎn)激光改質(zhì)剝離切割、晶亦精微SiC專用CMP、太原風(fēng)華SiC缺陷檢測等設(shè)備，助力國產(chǎn)6英寸SiC襯底制造的核心裝備局部成線能力快速躍升。他們始終以更快、更準(zhǔn)、更精為導(dǎo)向，從更精尖技術(shù)、更優(yōu)越性能和更穩(wěn)定工藝等多維度持續(xù)優(yōu)化SiC減薄設(shè)備，助力我國SiC襯底快速邁進(jìn)8英寸時(shí)代。

新工藝、新裝備、新成果、新起點(diǎn)。北京中電科公司作為重要的設(shè)備央企，堅(jiān)持服務(wù)國家戰(zhàn)略，踐行高水平科技自立自強(qiáng)的半導(dǎo)體裝備使命，持續(xù)推動(dòng)產(chǎn)業(yè)鏈和創(chuàng)新鏈深度融合，促進(jìn)產(chǎn)學(xué)研用協(xié)同發(fā)展，助力打通產(chǎn)業(yè)鏈上下游，形成協(xié)同共贏的創(chuàng)新新局面，大力保障SiC器件供應(yīng)鏈安全，支撐產(chǎn)業(yè)鏈向高端躍升。

北京中電科系列減薄機(jī)家譜圖

插播：了解全球碳化硅/氮化鎵產(chǎn)業(yè)趨勢、項(xiàng)目等，可掃描下方二維碼

本文鏈接：http://www.www897cc.com/showinfo-27-9668-0.html國產(chǎn)SiC技術(shù)再突破，獲頭部企業(yè)一致肯定

聲明：本網(wǎng)頁內(nèi)容旨在傳播知識(shí)，若有侵權(quán)等問題請及時(shí)與本網(wǎng)聯(lián)系，我們將在第一時(shí)間刪除處理。郵件：2376512515@qq.com

上一篇：達(dá)成戰(zhàn)略合作！這家GaN要建IDM項(xiàng)目

下一篇：增幅53%！國產(chǎn)光刻機(jī)龍頭增資至2.66億！

標(biāo)簽：

熱門焦點(diǎn)

谷歌KDD'23工作：如何提升推薦系統(tǒng)Ranking模型訓(xùn)練穩(wěn)定性

谷歌在KDD 2023發(fā)表了一篇工作，探索了推薦系統(tǒng)ranking模型的訓(xùn)練穩(wěn)定性問題，分析了造成訓(xùn)練穩(wěn)定性存在問題的潛在原因，以及現(xiàn)有的一些提升模型穩(wěn)定性方法的不足，并提出了一種新
微信語音大揭秘：為什么禁止轉(zhuǎn)發(fā)？

大家好，我是你們的小米。今天，我要和大家聊一個(gè)有趣的話題：為什么微信語音不可以轉(zhuǎn)發(fā)？這是一個(gè)我們經(jīng)常在日常使用中遇到的問題，也是一個(gè)讓很多人好奇的問題。讓我們一起來揭開這
一個(gè)注解實(shí)現(xiàn)接口冪等，這樣才優(yōu)雅！

場景碼猿慢病云管理系統(tǒng)中其實(shí)高并發(fā)的場景不是很多，沒有必要每個(gè)接口都去考慮并發(fā)高的場景，比如添加住院患者的這個(gè)接口，具體的業(yè)務(wù)代碼就不貼了，業(yè)務(wù)偽代碼如下：圖片上述代碼有
為什么你不應(yīng)該使用Div作為可點(diǎn)擊元素

按鈕是為任何網(wǎng)絡(luò)應(yīng)用程序提供交互性的最常見方式。但我們經(jīng)常傾向于使用其他HTML元素，如 div span 等作為 clickable 元素。但通過這樣做，我們錯(cuò)過了許多內(nèi)置瀏覽器的功能。
騰訊蓋樓，字節(jié)拆墻

來源 | 光子星球撰文 | 吳坤諺編輯 | 吳先之“想重溫暴刷深淵、30+技能搭配暴搓到爽的游戲體驗(yàn)嗎？一起上晶核，即刻暴打！”曾憑借直播騰訊旗下代理格斗游戲《DNF》一
iQOO Neo8 Pro真機(jī)諜照曝光：天璣9200+和V1+旗艦雙芯加持

去年10月，iQOO推出了iQOO Neo7系列機(jī)型，不僅搭載了天璣9000+，而且是同價(jià)位唯一一款天璣9000+直屏旗艦，一經(jīng)上市便受到了用戶的廣泛關(guān)注。在時(shí)隔半年后，
Counterpoint ：OPPO雙旗艦戰(zhàn)略全面落地高端產(chǎn)品銷量增長22%

2023年6月30日，全球行業(yè)分析機(jī)構(gòu)Counterpoint Research發(fā)布的《中國智能手機(jī)高端市場白皮書》顯示，中國智能手機(jī)品牌正在尋求高質(zhì)量發(fā)展，中國高端智能
onebot M24巧系列一體機(jī)采用輕薄機(jī)身設(shè)計(jì)，現(xiàn)已在各平臺(tái)開售

onebot M24 巧系列一體機(jī)目前已在線上線下各平臺(tái)同步開售。onebot M24 巧系列采用一體化輕薄機(jī)身設(shè)計(jì)，最薄處為 10.15mm，擁有寶石紅、午夜藍(lán)、石墨綠、雅致
北京：科技教育體驗(yàn)基地開始登記

　　北京“科技館之城”科技教育體驗(yàn)基地登記和認(rèn)證工作日前啟動(dòng)。首批北京科技教育體驗(yàn)基地?cái)M于2023年全國科普日期間掛牌，后續(xù)還將開展常態(tài)化登記。　　北京科技教育體驗(yàn)基

日韩成人免费在线_国产成人一二_精品国产免费人成电影在线观..._日本一区二区三区久久久久久久久不

國產(chǎn)SiC技術(shù)再突破，獲頭部企業(yè)一致肯定

谷歌KDD'23工作：如何提升推薦系統(tǒng)Ranking模型訓(xùn)練穩(wěn)定性

微信語音大揭秘：為什么禁止轉(zhuǎn)發(fā)？

一個(gè)注解實(shí)現(xiàn)接口冪等，這樣才優(yōu)雅！

為什么你不應(yīng)該使用Div作為可點(diǎn)擊元素

騰訊蓋樓，字節(jié)拆墻

iQOO Neo8 Pro真機(jī)諜照曝光：天璣9200+和V1+旗艦雙芯加持

Counterpoint ：OPPO雙旗艦戰(zhàn)略全面落地高端產(chǎn)品銷量增長22%

onebot M24巧系列一體機(jī)采用輕薄機(jī)身設(shè)計(jì)，現(xiàn)已在各平臺(tái)開售

北京：科技教育體驗(yàn)基地開始登記

最新推薦

猜你喜歡

熱門推薦

相關(guān)資訊