盛美上海作為具備世界先進(jìn)技術(shù)的半導(dǎo)體設(shè)備制造商，在第102屆中國電子展上展示了其新產(chǎn)品。盛美上海已經(jīng)擁有豐富的產(chǎn)品陣容，包括單晶圓及槽式濕法清洗設(shè)備、電鍍設(shè)備、無應(yīng)力拋光設(shè)備、立式爐管設(shè)備等。a7D28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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最近，盛美上海成功推出涂膠顯影Track設(shè)備，標(biāo)志著該公司已正式進(jìn)軍半導(dǎo)體前道光刻領(lǐng)域。該設(shè)備采用垂直交叉架構(gòu)，形成差異化競爭優(yōu)勢，可支持拓展至12個(gè)涂膠腔體及12個(gè)顯影腔體，每小時(shí)晶圓產(chǎn)能可達(dá)300片。盛美上海已經(jīng)向中國國內(nèi)的邏輯客戶交付首臺ArF工藝的前道涂膠顯影Track設(shè)備，并開始著手研發(fā)KrF型號的設(shè)備。a7D28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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盛美上海新推出涂膠顯影設(shè)備，將在多客戶之間進(jìn)行平行驗(yàn)證，有望提高設(shè)備的放量速度。自2024年開始，涂膠顯影設(shè)備將成為盛美上海未來業(yè)績成長的新增長曲線之一。a7D28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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此外，盛美上海還推出了擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的Ultra Pmax等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）設(shè)備，該設(shè)備具有更好的薄膜均勻性、更優(yōu)的薄膜應(yīng)力和更少的顆粒特性等特點(diǎn)，可滿足不同工藝和產(chǎn)能需求。盛美上海一直堅(jiān)持“技術(shù)差異化”發(fā)展戰(zhàn)略，不斷推出差異化的新產(chǎn)品、新技術(shù)，提升公司的核心競爭力，擴(kuò)大公司的收入和利潤規(guī)模。a7D28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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