在近期落幕的SEMICON China 2025展會(huì)上，萬(wàn)業(yè)企業(yè)旗下的凱世通離子注入機(jī)尤為引人注目。離子注入機(jī)作為高端半導(dǎo)體設(shè)備，其研發(fā)難度僅次于光刻機(jī)，長(zhǎng)期以來(lái)被國(guó)外廠商壟斷。凱世通作為國(guó)內(nèi)少數(shù)幾家離子注入機(jī)廠商之一，近年來(lái)在技術(shù)突破和產(chǎn)業(yè)化方面取得了顯著進(jìn)展。
據(jù)全球半導(dǎo)體觀察報(bào)道，凱世通展示了全系列集成電路離子注入機(jī)產(chǎn)品矩陣，涵蓋低能大束流、高能離子注入機(jī)等設(shè)備。這些產(chǎn)品在離子源、晶圓傳送、顆粒污染物控制等關(guān)鍵技術(shù)上實(shí)現(xiàn)了持續(xù)升級(jí)，獲得了晶圓廠客戶的廣泛認(rèn)可。
圖源：凱世通
凱世通的技術(shù)突破不僅體現(xiàn)在國(guó)產(chǎn)超低溫離子注入機(jī)的產(chǎn)業(yè)化上，還成功完成了新機(jī)型CIS離子注入機(jī)的驗(yàn)證驗(yàn)收，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白。公司透露，自2020年首臺(tái)訂單突破以來(lái)，已累計(jì)收獲近60臺(tái)12英寸離子注入機(jī)訂單，總金額超14億元，服務(wù)了十余家重點(diǎn)芯片制造企業(yè)。

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